| MOCVD |
| 发布时间:2016-08-09 信息来源:admin 发布人:admin 点击次数:2121 |
| 金属有机化学气相沉积系统(MOCVD)是利用金属有机化合物作为源物质的一种化学气相淀积(CVD)工艺。 MOCVD概述 着眼点：选择特殊的反应，来降低反应温度。 原料：金属的烷基，芳基，氢基，乙酰丙酮基衍生物。 MOCVD广泛被关注与LED的兴起有关。在蓝光LED芯片的生长中，一般都是使用MOCVD作为生长工具。这是由蓝光LED芯片的制作工艺特性决定的。 以AIXTRON公司的MOCVD为例，主要是由反应室，传送室，射频源以及气路部分构成。 它是利用金属有机源和参与反应的进程气体在一个低压高温的反应室中进行淀积，以生长出具有复杂掺杂层的芯片。 MOCVD设备昂贵，配套设施以及所需原材料也昂贵无比。确实是烧钱的机器。 在出现MOCVD之前，MBE算是最厉害的烧钱机器，以前大家都叫MBE为Money Burn Equipment。现在应该让给MOCVD了。 世界上最大的两家MOCVD生产商为德国的AIXTRON和美国的VEECO。AIXTRON收购了Thomas，VEECO收购了Emcore。现在是这两家独大。日系的MOCVD一般只在日本本土占有市场。 |
